Содержание
- Введение 1
- Плазма и её физические свойства 2
- Механизмы взаимодействия плазмы с материалом 3
- Виды плазменной обработки 4
- Материалы и области применения 5
- Практическая модель плазменного процесса 6
- Измерение параметров и оценка качества 7
- Правила безопасности и экологические аспекты 8
- Заключение 9
- Список литературы 10