Содержание
- Введение 1
- МЭМС-технология и устройство микросенсоров 2
- Принцип работы МЭМС-акселерометра 3
- Принцип работы МЭМС-гироскопа 4
- Сравнение характеристик акселерометра и гироскопа 5
- Методика демонстрационного эксперимента 6
- Обработка и анализ измерительных данных 7
- Применение, ограничения и перспективы МЭМС-сенсоров 8
- Заключение 9
- Список литературы 10